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超高分辨場發射掃描電子顯微鏡 Regulus系列

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超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1，可以獲得高穩定的束流。

現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1，可以獲得高穩定的束流。
通過優化電子光學系統，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外，為充分發揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理，幫助用戶充分發揮儀器的*佳性能。
（*1僅限Regulus8240/8230/8220）

特點：

· 沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2
· 采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的*佳性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
· 采用污染小、高真空樣品倉
· 運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2

項目	Regulus 8100	Regulus 8220	Regulus 8230	Regulus 8240
二次電子分辨率	0.7 nm （加速電壓15 kV） 0.8 nm （著陸電壓1 kV）*3	0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3
著陸電壓	0.1～2 kV	0.01～20 kV
放大倍率	20～1,000,000倍*4	20～2,000,000倍*4
樣品臺	樣品臺控制	3軸馬達臺（可選5軸馬達臺）	5軸馬達驅動
移動范圍	X	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～110 mm
Y	0～50 mm	0～50 mm	0～110 mm	0～80 mm
R	360°
T	-5～70°
Z	1.5～30 mm	1.5～40 mm
再現性	-	-	-	±0.5 μm以下含±0.5 μm

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