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在高分辨率、受好評的FineSAT Ⅲ的基礎上，進一步提高了分辨率


為提高分辨率，提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面，超聲波在傳播介質中的衰減越來越大，信噪

比降低的弊端變大，所以在檢查用途方面，300MHz前后是實用的*高頻率。


300MHz頻率的超聲波，在*佳條件下，僅 限于5μm左右寬度的線型識別，對于正在應用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細結構體的檢查時，可能無法適用。
FineSAT HR開發了新型電路、提高了分辨率，成功突破了這類超聲波檢查裝置的極限。

產品構成：

FS100ⅢHR FS200ⅢHR FS300ⅢHR
支持探頭頻率(MHz) 5～75 5～140 5～300